我國(guó)電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)指標(biāo)單位：
μg/L
 

我國(guó)電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)指標(biāo)單位：μg/L
序號(hào) 水質(zhì)項(xiàng)目 一級(jí)高純水指標(biāo) 二級(jí)高純水指標(biāo)
1 電阻率（25℃）MΩ·cm ≥15 ≥10
2 電導(dǎo)率，μs/cm 0.05 0.1
3 PH值 6.8～7.2 6.6～7.4
4 細(xì)菌總數(shù)，個(gè)/mL ＜3 ＜9
5 微粒（直徑＞0.5μm，粒/mL） ＜150 ＜300
6 二氧化硅 ＜10 ＜20
7 有機(jī)物（以COD計(jì)） ＜0.3 ＜0.5
8 鈉 Na ＜0.5 ＜2
9 鐵 Fe ＜1 ＜2
10 銅 Cu ＜0.5 ＜1
11 鈣 Ca ＜1 ＜3
12 鎂 Mg ＜0.2 ＜1
13 鋅 Zn ＜0.5 ＜1
14 錳 Mn ＜0.2 ＜0.5

說(shuō)明：①一級(jí)高純水適用于大規(guī)模集成電路，微波器件以及有相同要求到半導(dǎo)體器件產(chǎn)品?！　　、诙?jí)高純水適用于一般電路，分立器件以及有相同要求的半導(dǎo)體器件產(chǎn)品?！　　、郾颈戆?980年電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)摘錄。